Poly- und monokristalline Werkstoffe / Materialien, Targets

Sapphire wafer 2", 3", 4", 6", 7", 8"

Lithium Niobat (LiNbO3) wafer, 2" - 6" Lithium Tantalat (LiTaO3) wafer 2" - 6"

Single crystal SiC wafer

Single crystal Si3N4 wafer

Single crystal MgO

Single crystal ZrO2

LaAlO3 Substrate

Quarzglas / Fused silica wafer,

Borsilikatglas, Siliziumwafer, ZnO, ZnS Gläser

Keramikwafer Aluminiumoxid Al2O3, Aluminiumnidrid AlN
Keramikwafer Aluminiumoxid Al2O3, Aluminiumnitrid AlN
Wafer Siliziumnitrid Si3N4, Siliziumcarbid SSIC, SiC

AlN Substrate

Aluminium-Nitrid-Substrate

nach Kundenspezifikation, auch große Teile sind lieferbar.

Wärmeleitwert 170W/mK

Aluminiumoxid-Keramik 96% oder >99%

Wärmeleitwert 24W/mK (96%), 30W/mK (>99%)

Saphir-Substrat 2", 4", 6", 8"

Saphir-Wafer, epi polished, C-Plane